各装置の予約状況、センターの予定等を掲載しています。
| 装置名 | 型式 | メーカー |
|---|---|---|
| 大気圧プラズマナノ加工装置 | AP-01S-200M | 積水化学工業 |
| 多目的プラズマ加工装置 | ICF-500DS2hp | ナノテック |
| 電子ビーム描画装置 | ELS-7800 | エリオニクス |
| 多元系合金窒化膜PVD成膜装置 | M-500C-303 | 日本アイ・ティ・エフ |
| 水蒸気透過率測定装置 | AQUATRAN | MOCON |
| 超精密ナノ加工装置 | ROBONANOα-OiB | ファナック |
予定表で装置の予約状況をご確認のうえ、以下のフォームより利用申請をしてください。
施設の利用に関するお問い合わせは、以下のフォームより受け付けています。