慶應-神奈川ものづくり技術実証・評価センター

各装置の予約状況、センターの予定等を掲載しています。

装置名 型式 メーカー
大気圧プラズマナノ加工装置 AP-01S-200M 積水化学工業
多目的プラズマ加工装置 ICF-500DS2hp ナノテック
電子ビーム描画装置 ELS-7800 エリオニクス
多元系合金窒化膜PVD成膜装置 M-500C-303 日本アイ・ティ・エフ
水蒸気透過率測定装置 AQUATRAN MOCON
超精密ナノ加工装置 ROBONANOα-OiB ファナック

利用時間

9:00-17:00(土日、祝祭日および慶應義塾が定める休日は閉所します)

利用申請

予定表で装置の予約状況をご確認のうえ、以下のフォームより利用申請をしてください。

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お問い合わせ

施設の利用に関するお問い合わせは、以下のフォームより受け付けています。