クリーンルーム内の装置の使用には、SimpRent オンライン予約システムによる事前予約が必要です。

注意事項

• 以下のいずれかの装置を使用する場合は、それぞれに対応する施設利用を予約してください。
  • クリーンルームA内の機器（表面段差計、プラズマリアクター、スピンコーター、電子顕微鏡、システム光学顕微鏡）
    　クリーンルームA　施設利用
  • クリーンルームB　P１区画内の機器（クリーンベンチ、培養顕微鏡、遠心機など）
    　クリーンルームB　P１利用
  • テクノロジーセンター棟イエロールーム内の機器（マスクアライナー、スピンコーター、ソフトプラズマエッチング装置など）
    　TC棟イエロールーム
• 施設利用の予約時には、SimpRentの「備考」欄に使用する装置名を記入してください。
• クリーンルームA, Bに関しては鍵の借用と返却が不要となりました。そのまま入退室してください。