装置名	型式	メーカー
SEM	Merlin Compact	ZEISS
EBSD	Orion	EDAX
TEM	Tecnai Osiris	FEI
FIB	Quanta 3D 200i	FEI
イオンミリング装置	ArBlade500	Hitachi HT
ウルトラミクロトーム	MT-XL/PowerTOME PC	RMC Boeckeler
エネルギー分散型蛍光X線装置	M4 TORNADO	Bruker
多機能X線回折装置	D8 Discover	Bruker
X線回折装置	D8 Advance	Bruker
3Dスキャナ型三次元測定器	VL-700	Keyence
電解研磨装置	DLyte１l＋Ti	GPAINNOVA
3Dファイバーレーザーマーカー	TASTE-M7タイプ 20W	ヨコハマシステムズ
電子ビーム描画装置	ELS-7800	エリオニクス
大気圧プラズマナノ加工装置	AP-01S-200M	積水化学工業
多目的プラズマ加工装置	ICF-500DS2hp	ナノテック
水蒸気透過率測定装置	AQUATRAN	MOCON
超精密ナノ加工装置	ROBONANOα-OiB	ファナック