クリーンルーム内の装置の使用には、SimpRent オンライン予約システムによる事前予約が必要です。

利用予約について

• 以下のいずれかの装置を使用する場合は、それぞれに対応する施設を予約してください。
  • クリーンルームA（22棟地下1階にあるナノデバイス加工向けの施設）
    システム光学顕微鏡、プラズマリアクター、電子顕微鏡、超純水装置、スピンコーター、定温乾燥機、乾式スクラバー
    　クリーンルームA　施設利用
  
  
  • クリーンルームB　P１区画（遺伝子組換え実験（事前に申請書の提出が必要）、細胞培養を行うことができる施設）
    クリーンベンチ、培養顕微鏡、遠心機、オートクレーヴ、CO2インキュベーター、フリーザー、超純水装置など
    　クリーンルームB　P１利用
  
  
  • テクノロジーセンター棟イエロールーム（マイクロ流体デバイス、MEMS等マイクロ加工を行うことができる施設）
    マスクアライナー、ソフトプラズマエッチング装置、プラズマリアクター、スピンコーター（ミカサ製MS-A100）、定温乾燥機、ホットプレート、電子天秤、ヒュームフード、超音波洗浄機など
    　TC棟イエロールーム