| 装置名 | 型式 | メーカー |
|---|---|---|
| SEM | Merlin Compact | ZEISS |
| EBSD | Orion | EDAX |
| TEM | Tecnai Osiris | FEI |
| FIB | Quanta 3D 200i | FEI |
| イオンミリング装置 | ArBlade500 | Hitachi HT |
| ウルトラミクロトーム | MT-XL/PowerTOME PC | RMC Boeckeler |
| エネルギー分散型蛍光X線装置 | M4 TORNADO | Bruker |
| 多機能X線回折装置 | D8 Discover | Bruker |
| X線回折装置 | D8 Advance | Bruker |
| 3Dスキャナ型三次元測定器 | VL-700 | Keyence |
| 電解研磨装置 | DLyte１l＋Ti | GPAINNOVA |
| 3Dファイバーレーザーマーカー | TASTE-M7タイプ 20W | ヨコハマシステムズ |
| 電子ビーム描画装置 | ELS-7800 | エリオニクス |
| 大気圧プラズマナノ加工装置 | AP-01S-200M | 積水化学工業 |
| 水蒸気透過率測定装置 | AQUATRAN | MOCON |
| 超精密ナノ加工装置 | ROBONANOα-OiB | ファナック |
| マイクロスケール3D プリンター | S-230 | BMF |
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